檢測氣體:氦氣、氫氣 響應時間:<1s 啟動時間:≤110s 漏率檢測范圍:5×10-13~10-3 Pa m3/s 最小可檢漏率(真空模式):5×10-13 Pa m3/s 最小可檢漏率(吸槍模式):5×10-9 Pa m3/s 最大允許檢漏壓力:1500Pa 質譜室扇形場:180° 儀器尺寸:711mm×475mm×1156mm 電源:220V